EL素子発光層材料SrS:Ce薄膜の評価
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概要
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青緑色発光のEL発光層材料であるSrS:Ce薄膜を製膜する際に、組成比のずれの防止や結晶性の改善を行うことが必要である。本実験では、蒸着源としてZnSを混合したSrS :Ceペレットを用いて薄膜を作製し、さらに基板温度を変化させて膜の性質の変化を調べた。また、新たな電荷補償材料としてNを用いる方法についても検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-07-25
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