ac形プラズマディスプレイの誘電体材料 : 情報入力情報ディスプレイ(<特集>画像変換装置特集)

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概要

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ac形プラズマディスプレイの保護層材料として、二次電子放出比が高く耐スパッタ性に優れている、などの理由からMgOが用いられている。保護層表面の汚染はPDPの放電電圧に影響を与えるため、汚染物の除去は重要な課題である。一般に放電ガスを封入する前に300〜350℃の真空べ一キングにより保護層表面の汚染物を除失し、MgOの活性化を行っている。今回、この活性化の効果を調べるため、パネルを試作し、ALA特性の測定を行い、その効果を確認した。また、熱処理用のチャンバーを設けたE S C Aを使って、活性化前後のMgO表面を観察した。その結果、活性化による吸着酸素の減少が認められた。
社団法人映像情報メディア学会の論文
1990-06-22

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