電子顕微鏡によるZnS:TbF_3薄膜形成過程
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概要
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今回の研究では、ZnS:TbF_3発光層および発光母体ZnSの蒸着膜形成過程の電子顕微鏡観察を行った。またZnS:TbF_3膜におけるアニール処理の影響をTEM像観察によって調べた。その結果、ZnS膜およびZnS:TbF_3膜の膜成長を視覚的に確認した。、ZnS:TbF_3とZnS膜のTEM像によりTbF_3をドープすることによってグレインサイズが大きくならないことが確認された。アニール処理によるグレインサイズの増大を視覚的に確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-24
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