ZnS:TbF_3薄膜ELの膜質評価 : 発光型ディスプレイ関連 : 情報ディスプレイ
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概要
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ELDのカラー化実現のためには膜質を評価して、膜中の状態を明らかにし、改害することが必要である。そこで今回、発光層ZnS:TbF_3を電子顕微鏡観察及びX線回折し、蒸着膜形成過程の評価及び、発光中心Tbの膜質への影響を考察した。また、 ドーピング母体として使用されるTbF_3の構造を調べ考察した。その結果、TEM像観察により、ZnS:TbF_3膜の膜成長を視覚的に確認し、これとX線回折から、Tbが 膜質を劣化させていることが分かり、また、TbF_3の構造を調べた結果TbF_3は斜方晶系結晶でYF_3型構造をしていることが分かった。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-01-22
著者
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