プローブカードのクロストークの評価と解析
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概要
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LSIの大規模化、高機能化に伴い、多ピン、狭ピッチ化したプロープカードでは、ウェハレベルでの高速なテスト時のクロストークの問題が顕在化する。プロープカードのプロープ部分のシミュレーションモデルの作成、及び回路シミュレーションによるクロストークの解析と実測データとの比較を通して、プロープの長さ等について検討を加えたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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