LSIテスタ用500MHzプローブカードの開発
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概要
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LSIの高速化、多ピン化に伴って、最先端のLSIテスタのテストサイクルは500MHz、512ピンとなってきている。そこで、これに対応するテストサイクル500MHzでも信号伝送特性が優れ、しかも512信号ピンが可能なLSIテスタ用高性能プローブカードを開発したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
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