高強度エキシマレーザ光伝送用光ファイバの特性

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概要

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近年、エキシマレーザ光は露光装置用光源としてはもちろん、微細加工用光源としての応用も期待されており、その伝送路として純粋石英コアファイバが注目されている。加工用伝送路としてファイバを用いる場合、非常に高いエネルギー密度での使用が見込まれるが、これまでは、高強度のエキシマレーザ伝送特性に関する十分な検討がされていなかった。今回、単芯の純粋石英コアフアイバに高強度のKrFエキシマレーザ光を照射し、照射後の透過率の低下および、その回復特性について検討を行なったので、結果について報告する。
1994-09-26

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