エキシマレーザ光伝送用光ファイバの特性
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概要
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エキシマレーザは微細加工が可能なこと, 加工時, 熱損傷を伴わないこと等の特徴から次世代の加工用光源として実用化が進められており, 近年ては加工効率向上のために, 発振周波数は高周波化している。一方, 純粋石英コアファイバは, ハンドリングの容易性, 安全性等の理由てエキシマレーザ光の伝送路としての応用が期待されている。我々は以前より光ファイバの実機ての使用を目的とした検討を行っており, 良好な特性が得られている。今回は発振周波数の高周波化に対応する伝送路の検討として, 光ファイバのKrFエキシマレーザ光の透過率, 及び損失特性の周波数依存性についての評価を行ったのて, その結果について報告する。
- 1997-03-06
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