C-3-68 位相マスクを用いた UV 光照射によるブラッググレーティングと光導波路の同時作製

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-09-10

著者

• 柏木 謙

  東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻

• 山下 真司

  東京大学大学院

• 山下 真司

  東京大学大学院電子工学専攻

• 柏木 謙

  科学技術振興事業団戦略的基礎研究推進事業

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