SAW発振子を用いた静電圧センサ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
SAW発振器を構成するセンサの一つとして,静電圧SAWセンサを試作した.この静電圧センサの特長は,ピエゾ効果によりひずみを生じさせる静電圧印加用電極は,基板の上下にあるのではなく,伝搬路面上に伝搬路と平行な位置に形成されており,このため静電印加用電極間げきを小さくすることが可能であり,感度の向上を期待することができることである.基板材料としてLiNbO_3単結晶とPZTセラミックスを用いた.静電圧を印加すると,ピエゾ効果によるひずみにより伝搬路長が変化するが,LiNbO_3単結晶について,X軸を中心に回転する回転Y-X板に関して,回転Y-X板において最も感度の良い結晶面を求めた.その結果,90゜回転Y-X板が最も良いことがわかった.実験においては,この角度に近く,また入手が容易である131゜回転Y-X板20×25×1.0mm^3用いた.IDT電極および静電圧印加用電極はAl蒸着により形成し,このセンサの発振周波数変化-静電圧特性を調べた.その感度は,LiNbO_3については131゜回転Y-X板およびY-X板に対してそれぞれ0.133Hz/Vおよび0.03Hz/Vであり,PZTセラミックスに対しては12Hz/Vであった.また,静電圧印加電極間げきに対する感度の依存性,温度依存性について調べた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-08-25
著者
関連論文
- ロケット搭載用マルチ地平線センサ
- 高温超伝導体厚膜を用いた磁気センサ
- 非対称相互結合結合ニューラルネットワークの提案とランキング問題への適応
- 特定の結合を持つディジタル・ニューラルネットワークの予測学習能力
- 反対称相互結合ニューラルネットワークの提案とリーグトーナメントのランキング問題への適用
- 遅延シナプスをもつホップフィールド型ニューラルネットワークの収束性
- 恒等変換・ニューラルネットワークによる、特定パターンとその位置の認識
- 人の動きを環境とし, 環境との干渉から学ぶ進化自動ドア・システム
- SAW発振子を用いた静電圧センサ
- 飛翔体上での赤外検出による大気の垂直温度分布測定
- Uniaxial Stress Effect on the A Emission Band of KI:Tl Phosphor at Low Temperature
- InSb Thin Film Element Having Non-linear Galvanomagnetic Effect
- Temperature Dependence of Pyroelectric Responsivity in Barium Titanate and Barium Strontium Titanate Ceramics
- 赤外線によるロケットの姿勢検出
- 蒸着薄膜サーミスタの感度波長特性
- K-10-10号機による地平線検出
- フェリ磁性体の磁気音響共鳴 : 磁性(酸化物)
- Magnetoacoustic Resonance