段付き片持ち屈曲水晶振動子のガレルキン法による共振周波数解析とその水晶音さへの適用
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概要
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本論文では,段付き屈曲モード音さ型水晶振動子について述べる.本論文の目的は,段付屈曲モード音さ型水晶振動子の共振周波数,等価直列抵抗R_1およびQ値を明らかにすることにある.まず,解析手順として,回転慣性とせん断力を考慮した断面が一様でない屈曲モード振動子の運動方程式を示す.次に,屈曲モード音さ型水晶振動子は片持ち梁が2本あると考えることができるから,一端固定,他端自由の境界条件と異なる断面の接続条件から算出される振動変位を用いて,ガレルキン法により周波数方程式を導出する.同時に,境界条件と接続条件より超越方程式が導出される.更に,これらの関係式より,幅の比W_<21>(幅w_2 / 幅w_1)や長さの比L_<21>(長さl_2 / 長さl_1)に対する周波数定数(f・l_1)および共振周波数との関係を示す.その結果,振動子の長さ寸法を大きくせずにより低周波数化が可能であることを示す.また,これらの関係は実験値と比較され,両結果とも十分によく一致することを示す.それ故,本解析結果は,任意の周波数設計に有効である.最後に電気的等価回路定数の代表値が示され,L_<21>の増加に伴って,等価直列抵抗R_1は上昇,Q値は低下する傾向を示すが,振動子として十分な特性であると同時に,耐衝撃性に優れていることも示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-01-25
著者
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川島 宏文
セイコー電子工業(株)
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川島 宏文
セイコー電子工業(株)bcm総括部
-
須永 健兒
セイコー電子工業(株)
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須永 健兒
セイコー電子工業
-
須永 健児
セイコー電子工業(株)bcm総括部
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川島 宏文
セイコー電子工業
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