メイソンの等価回路による縦振動モード水晶触覚センサの解析<研究速報>
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概要
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水晶触覚センサを実現するために, 音響放射による質量負荷を含んだ縦振動水晶振動子のメイソンの等価回路を基礎にして, シリコンゴムに接触させたときの周波数-硬さ特性の理論式を求めた. 求めた理論式は実験結果と定量的に一致することが判明した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-25
著者
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