張り合わせ屈曲モデルによる音叉型水晶振動子の周波数温度特性の電極膜厚依存性の解析
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概要
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音叉型水晶振動子の周波数温度特性に与える電極膜厚の影響を実験と理論の両面から考察した。電極を一つの弾性体と考えて片持ち梁の4面全面に電極を張り合わせて屈曲振動しているとして電極を含んだヤング率と密度を求め,それらをfree-clampedの境界条件で求めた回転慣性を無視した片持ち梁の周波数式に代入して一次と二次の周波数温度係数と頂点温度を求め,実験値と比較した。銀のヤング率の一次温度係数を文献から求めた値の細1/4になる-1.35x10^<-4>[℃^<-1>]にすることで電極膜厚を厚くすると周波数頂点温度が低下する実験結果を定量的に説明できることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-04-25
著者
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