サイクロトロン共鳴質量分析器を用いたCF4磁化プラズマ中正負イオンの同時測定
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概要
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CF_4ガスにおける磁化プラズマ中正負イオンの組成を、サイクロトロン共鳴質量分析器を用いてその場測定することができた。そして、各種活性イオン密度のプラズマ条件依存性を明らかにした。磁化プラズマの周辺部分では高密度のF^-負イオンの分布が見られ、電子密度よりも高い値を示している。CF_4ガス圧力や放電電流と共にF^-負イオン密度が増大していく。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-01
著者
-
三重野 哲
静岡大学理学部物理学科
-
Mieno T
Shizuoka Univ. Shizuoka‐shi
-
Mieno T
Department Of Physics Faculty Of Science Shizuoka University
-
河合 了一
静岡大学理学部物理学科
-
三重野 哲
静岡大学理学部
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