28p-ZE-1 非対称電極DC/RF放電における空間電位分布の測定
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1992-03-12
著者
-
三重野 哲
静岡大・理
-
Mieno T
Department Of Physics Faculty Of Science Shizuoka University
-
Haydon S.c.
ニューイングランド大・物理
-
Hugrass W.N.
ニューイングランド大・物理
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