28p-A-10 電圧電流特性によるカーボン膜の成膜・エッチング測定(28pA 放電)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 1989-03-28

著者

• 三重野 哲

  静岡大・理

• 山際 啓一郎

  静岡大・理

• 種生 義巳

  静岡大・理

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