光学研磨法を用いたGe基板へのテラヘルツ波帯無反射コーティング

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• 従来, テラヘルツ(THz)波帯の光学素子に用いる無反射コーティング(Anti-Reflection, AR)膜は, 光波帯に比べ膜厚がはるかに厚く数十μm程度になることから, 作製及び膜厚の制御が困難であった. この問題を解決するため我々は, 適当な屈折率を有する結晶又は非品質の薄板をTHz波帯光学素子表面に光学接着剤で接着した上で, 高精度機械研磨により膜厚制御を行う方法により, 波長数百μmのテラヘルツ波帯(遠赤外領域, サブミリ波帯)におけるARコーティングを製作する新しい手法を開発した. この方法により, アンドープのGeウェーハ上に, THz波帯の屈折率が適当な(Geの屈折率のほぼ平方根)溶融石英の薄板を光学接着剤で接着し, 溶融石英板の光学的厚みをTHz波長の1/4に研磨することにより, ARコーティングを作製した. そのコーティング面の反射率は, 無コーティング時に比べて計算どおり数百分の1に低減した. また, 研磨厚精度の再現性を確認する目的で両面ARコーティングを試み, 目標とした波長において干渉スペクトルが消えること, 及び計算どおりの高い透過率が得られることを確認した.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1999-05-25

著者

• 廣本 宣久

  郵政省通信総合研究所

• 廣本 宣久

  静岡大学スペクトルデザイン情報通信研究機構

• 藤原 幹生

  郵政省通信総合研究所

• 川瀬 晃道

  郵政省通信総合研究所

• 川瀬 晃道

  郵政省通信総合研究所:(現)東北学院大学工学部応用物理学科

• 廣本 宜久

  郵政省通信総合研究所

関連論文

• 赤外空間通信における降雨時の伝搬特性
• 光解離領域の遠赤外分光観測
• 銀河系の大局的 [C II] 158μm 放射
• M17 周辺 CII 領域の空間分布とエネルギー収支
• NGC 6334 領域の遠赤外分光観測 : 光解離領域の進化
• 気球による天体遠赤外分光観測
• 気球高度における大気 H_2O スペクトルの観測
• 気球搭載赤外線望遠鏡による遠赤外分光観測
• インドネシア日食気球による太陽近傍のダスト雲の熱輻射と偏光の観測
• 銀河中心部 10°×10°領域の近赤外輝度分布と星間ダスト雲の同定
• リアクション・ホイルによる気球赤外望遠鏡の姿勢制御
• 第23回赤外・ミリ波国際会議の報告
• 第19回赤外とミリ波に関する国際会議報告
• C-4-12 室内センシング・通信のための建築材のTHz特性の測定(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般講演)
• 光デバイス技術(2)ミリ波からテラヘルツ領域における各種p型ゲルマニウムレーザー
• 最小サイズ圧縮型p-Geレーザの発振
• 超小型p型Ge半導体テラヘルツ波レーザの発振
• p型Geテラヘルツレーザの最近の研究
• Ge:Ga遠赤外検出器アレイ・ダイレクトハイブリッドの試作
• Ge:Ga遠赤外検出器二次元アレイの開発
• Ge:Ga 2次元検出器ハイブリッド構造の作製
• Ge:Ga 2次元検出器ハイブリッド構造の作製
• Ge:Ga 2次元検出器ハイブリッド構造の作製
• Ge:Ga 2次元検出器ハイブリッド構造の作製
• ADEOS搭載レーザーリフレクタRISを用いた大気観測実験用CO2レーザー送受信システムの性能評価
• 光学研磨法を用いたGe基板へのテラヘルツ波帯無反射コーティング
• Ge:Ga遠赤外モノリシック検出器アレイの開発
• 高速赤外空間通信技術の展望
• テラヘルツ波p型Geレーザー
• 低ドーパント濃度Ge:Ga遠赤外検出器の性能
• 高速赤外空間通信技術の研究
• 衛星搭載遠赤外センサーの研究開発
• 透明電極付きGe : Ga遠赤外検出器の開発
• Ge:Ga遠赤外検出器の中速応答
• B-10-102 読み出し回路の高入力抵抗化による光検出感度の改善
• 圧縮型Ge:Ga半導体遠赤外線検出器開発実験 (電磁波利用技術)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク