透明電極付きGe : Ga遠赤外検出器の開発
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概要
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Ge:Ga外因性半導体遠赤外検出器はカットオフ波長11Oμmを持つ。検出器のアレイ化は遠赤外天文観測の効率化や二次元画像を得るために重要である。モノリシック2次元アレイの開発を念頭に入れた場合、検出器は入射光とキャリアが流れる方向とが平行であるLongitudinal typeを用いる必要があり、赤外光の透過性とオーミックコンタクト性能を合わせ持つ透明電極が必要となる。透明電極はGe:Gaウェハー上に適当なエネルギー及びドーズ量でB_+イオンインプラを行って作製する。我々は透明電極上の金属パッドの形状を2種類作製し、その導電性を評価し、また、単素子Longitudinal type Ge:Ga遠赤外検出器を試作して、その光学性能評価を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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