招待論文 Si置換強誘電体酸化物の結晶構造, 物性と強誘電体特性(物性,成膜,加工,プロセス : 強誘電体薄膜とデバイス応用)
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概要
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強誘電体酸化物のBLT,SBT,BIT系にSiを含む複合酸化物を混合し,焼成することにより,新規のバルク材料であるSi置換強誘電体酸化物が得られた.Si置換により, Pr, Ecなどの強誘電体特性の向上がみられ,Tc, 誘電率にも変化がみられた.さらに,組成変化や熱処理を行うことによっても特性に変化がみられた.これらの特性の変化について,および中性子回折を用いた結晶構造解析から得られる構造変化について述べる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-03-11
著者
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