In situビームプロセスによるInAs量子ドットの位置制御と光学特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
自己形成量子ドットの位置やサイズを精密に制御するため、In situ電子線プロセスによりGaAs基板に微細なパターンを形成し、ここにInAsドットの選択的な形成を行うことを検討した。その結果、単一のInAs量子ドットからなるアレー構造の形成や、ドット間の結合状態をも制御できる可能性のある局所的に密集した量子ドット群の形成などに成功した。本研究を通じ、量子ドットの位置やサイズの精密な制御には原子ステップのミクロな制御と理解が重要であることが明らかとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-06-23
著者
-
中村 均
技術研究組合フェムト秒テクノロジー研究機構
-
中村 均
フェムト秒テクノロジー研究機構
-
浅川 潔
フェムト秒テクノロジー研究機構
-
河本 滋
技術研究組合フェムト秒テクノロジー研究機構
-
石川 知則
技術研究組合フェムト秒テクノロジー研究機構
-
河本 滋
フェムト秒テクノロジー研究機構
-
石川 知則
フェムト秒テクノロジー研究機構
-
西村 哲也
フェムト秒テクノロジー研究機構
-
西村 哲也
技術研究組合フェムト秒テクノロジー研究機構
-
浅川 潔
筑波大学
関連論文
- 24aYG-6 フォトニック結晶欠陥共振器に埋め込まれた量子ドットの光学応答II(領域5,領域1合同講演 フォトニック結晶,顕微,近接場分光,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 24aYG-6 フォトニック結晶欠陥共振器に埋め込まれた量子ドットの光学応答II(フォトニック結晶,顕微・近接場分光,領域5,領域1合同講演,領域5,半導体,メゾスコピック系・局在)
- 実用化に向けたフォトニック結晶の構造制御 : 極微小・超高速全光スイッチの実現
- フォトニック結晶/量子ドット融合超高速全光スイッチのスイッチング動作(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- 26aE04 ナノジェットプローブ法による位置制御InAs量子ドットの作製(ナノエピシンポジウム,第34回結晶成長国内会議)
- SC-1-3 2 次元フォトニック結晶スラブ導波路の超高速光スイッチ (PC-SMZ) 応用
- III-V族半導体量子ドットの配列・形状制御(ナノ結晶)
- 量子ドット, フォトニック結晶融合構造による光非線形の増強
- 量子ドット, フォトニック結合融合構造による光非線形の増強
- STMを用いた精密位置制御量子ドット
- In situビームプロセスによるInAs量子ドットの位置制御と光学特性
- 次世代光伝送用部品 (光伝送技術)
- C-4-1 Sb系近赤外サブバンド間遷移材料
- C-3-100 波長選択性を有するフォトニック結晶Y分岐導波路のトポロジー最適化(フォトニック結晶デバイス,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-22 トポロジー最適設計曲がり導波路を用いたフォトニック結晶方向性結合器の広帯域動作(フォトニック結晶ファイバ・素子,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-48 トポロジー最適化法によるフォトニック結晶Y分岐導波路の設計(フォトニック結晶導波路・ファイバ,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- CS-11-7 極微小対称マッハツェンダ型全光スイッチを用いた光フリップフロップ(CS-11.光信号処理用デバイスの現状と展望,シンポジウム)
- C-4-2 トポロジー最適設計によるフォトニック結晶交差導波路および60°曲がり導波路の広帯域化(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般講演)
- 二次元フォトニック結晶導波路と量子ドットを組み合わせた超高速全光スイッチ(PC-SMZ)
- C-3-78 フォトニック結晶超高速全光スイッチ(PC-SMZ)における波長選択方向性結合器の広帯域設計(フォトニック結晶,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- CS-8-3 フォトニック結晶と量子ドットの融合デバイス(PC-SMZ) : ナノフォトニクス領域での集積・超高速光信号処理に向けて(CS-8. ナノスケール光集積回路技術の展望, エレクトロニクス1)
- C-3-82 トポロジー最適化手法を用いたフォトニック結晶交差導波路の設計(C-3. 光エレクトロニクス(フォトニック結晶), エレクトロニクス1)
- C-3-32 超低損失導波路を有するQDベースSMZ光スイッチ(PC-SMZ)(C-3. 光エレクトロニクス(光スイッチ), エレクトロニクス1)
- フォトニック結晶を用いた超高速光スイッチ
- 超短パルス光と全光スイッチング
- B-1-167 ナノホールアレイを用いた左手系光導波路(B-1.アンテナ・伝搬B(アンテナ一般),一般セッション)
- 低しきい値(190μA)エアポスト型マイクロキャビティレーザ
- フォトニック結晶/量子ドット融合超高速全光スイッチのスイッチング動作(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- フォトニック結晶/量子ドット融合超高速全光スイッチのスイッチング動作(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- フォトニック結晶/量子ドット融合超高速全光スイッチのスイッチング動作(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- STMを用いた精密位置制御量子ドット
- 25aN-13 スラブ型半導体2次元フォトニック結晶の特性
- C-3-69 ナノホールアレイを用いた負屈折平面プリズムのナノ加工(パッシブデバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 25aRA-8 AlGaAsエアブリッジ型2次元フォトニック結晶の光学特性
- 25aRA-8 AlGaAsエアブリッジ型2次元フォトニック結晶の光学特性
- SC-4-10 入出射導波路付2次元AlGaAsフォトニック結晶の作製と評価
- B-1-159 ナノホールアレイを用いた負屈折平面プリズムの設計(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般セッション)
- 24pRA-9 ポリマー薄膜2次元フォトニック結晶の光透過特性
- 24pRA-9 ポリマー薄膜2次元フォトニック結晶の光透過特性
- 25aN-11 色素ドープポリマーフィルム2次元フォトニック結晶の光伝播特性
- C-10-13 In situ電子線リソグラフィによる位置制御InAs量子ドット
- 真空連続プロセスによる量子構造形成の現状と展望
- III/V族半導体のCl_2-ECRプラズマエッチングおよびその光素子への応用
- 2次元フォトニック結晶のマイクロパターニング (Imaging Today マイクロパターニング・マイクロ加工技術の最前線)
- 2次元フォトニック結晶スラブ導波路と光集積回路 (特集 フォトニック結晶)
- 解説 超短パルス光と全光スイッチング (超短パルス光と光通信)