立方晶ナイトライドのMOVPE成長と評価

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概要

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• より結晶性の高い立方晶ナイトライドの成長を行うために有機金属気相成長における成長条件について検討を行った。その検討に基づいて成長した高品質な立方晶ナイトライドをフォトルミネッセンスによって評価し, いくつかの発光ピークについてその起源を明らかにした。さらに, 立方晶GaN/AlGaNダブルヘテロ構造を作製し, 光励起による誘導放出を観測した。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-06-16

著者

• 矢口 裕之

  東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻

• 呉 軍

  東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻

• 尾鍋 研太郎

  東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻

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