基板の異方性を用いた1方向性弾性表面波すだれ状電極の等価回路定数の理論的導出
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概要
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1方向性弾性表面波すだれ状電極の一つであるNSPUDT(Natural Single Phase Unidirectional Transducer)に対する等価回路の回路定数をすべて理論的に決定する一方法を提案している.回路定数の決定に必要なNSPUDTの電気端子を短絡,開放した場合に対応する短絡グレーティング,開放グレーティングのストップバンドの上下限の周波数,電位定在波分布,およびNSPUDT1対当りの静電容量を,いずれも有限要素法を用いて求めているので,基板の異方性,電気的摂動効果,弾性的摂動効果,エネルギー蓄積効果をすべて考慮することができる.実際に,STカット25°X伝搬水晶基板上のNSPUDTに対する等価回路定数を算出し,表面波の反射特性や励振特性を求め,実験値との比較から本手法の妥当性,有効性を確認している.
- 1995-06-25
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