基板の異方性を用いた一方向性弾性表面波すだれ状電極のモード結合方程式の諸定数のハイブリッド有限要素法による決定法 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
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概要
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NSPUDTのモード結合方程式中の諸定数決定法として,ハイブリッド有限要素法を用いる方法を提案している.ハイブリッド有限要素法は,電気端子対を短絡,開放した場合に対応する短絡グレーティング,開放グレーティングのストップバンドの上下限の周波数とそれぞれの周波数における界分布,及び電極一対当りの静電容量の算出に用いられ,これらの諸量から諸定数を決定する方法である.NSPUDTに用いられる基板においては,定在波の最小点の位置が基板の深さ方向に変化しているため,従来はグレーティングの界分布と無摂動時の界分布とが十分深い基板内部で対応づけることが可能な基板に解析対象を限定し,基板内部における電位定在波分布から,基板表面での電位定在波分布を決定してきた.ここではこの制約を取り除くために,界分布の重なり積分を評価することで,モード結合理論から導かれる界分布成分を取り出し,基板表面での電位定在波分布を決定している.具体的に,2種類の2重回転YカットLa_3Ga_5SiO_<14>基板上のNSPUDTに本手法を適用し,実験値あるいは1次の摂動法による計算結果との比較から,その妥当性,有用性を確認している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-25
著者
-
小柴 正則
北海道大学大学院情報科学研究科
-
稲川 清
苫小牧工業高等専門学校情報工学科
-
小柴 正則
北海道大学
-
長谷川 弘治
室蘭工業大学
-
稲川 清
苫小牧高専
-
長谷川 弘治
釧路工業高等専門学校電子工学科
-
稲川 清
苫小牧工業高等専門学校
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