基板の異方性を用いた1方向性弾性表面波すだれ状電極のモード結合理論に基づく一解析法
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概要
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1方向性弾性表面波すだれ状電極の一つであるNSPUDTの解析法として,モード結合理論と有限要素法を用いた方法を提案している.有限要素法は,電気端子対を短絡,解放した場合に対応する短絡グレーティング,開放グレーティングのストップバンドの上下限の周波数とそれぞれの周波数における電位定在波分布,および電極1対当りの静電容量の算出に用いられる.NSPUDTに用いられる基板においては,一般に,定在波の最大点や最小点の位置が基板の深さ方向に変化しているため,従来のように基板内部における定在波分布をそのまま電極が存在する基板表面での定在波分布とすることはできない.ここでは,モード結合理論に,基板の深さ方向に対する電位の変化を繰り込むことによって,定在波分布の深さ依存性を定量的に評価し,基板内部における定在波分布から基板表面での定在波の最大点や最小点の位置を確定することを可能としている.具体的に,STカット25゜X伝搬水晶基板上のNSPUTTに本手法を適用し,その妥当性,有用性を確認している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-25
著者
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