OPE2000-32 / LQE2000-26 有機溶液を用いた透明材料のレーザーアブレーション
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
石英材料に代表される透明材料の微細加工は、ナノ秒パルスの紫外レーザーを用いたプロセスでは、紫外領域に吸収帯がないために一般に困難であった。我々は、紫外領域に大きな吸収を有する液体層を加工対象物に接触させた状態で、背面からナノ秒紫外レーザーを照射するレーザーアブレーションを応用し、透明材料の微細加工に成功した。本稿では、石英材料の加工特性ならびに機構について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-30
著者
-
新納 弘之
物質工学工業技術研究所
-
矢部 明
物質工学工業技術研究所
-
王 俊
太陽誘電r&dセンター
-
新納 弘之
物質研
-
矢部 明
物質研
-
王 俊
物質工学工業技術研究所COE特別研究室
-
佐藤 正健
物質工学工業技術研究所COE特別研究室
-
佐藤 正健
産総研・光技術
-
佐藤 正健
物質工学工業技術研究所
関連論文
- 分子線とエキシマレーザーからなる複合反応場でのビス(エチニルスチリル)ベンゼンの薄膜成長
- LIBWE法による石英ガラス表面への微細構造形成 : マイクロ化学チップの作製
- 新規透明材料LiCaAlF_6単結晶のフッ素レーザー照射耐性
- 有機溶液のレーザアブレーションによるUV透明材料の微細加工
- OPE2000-32 / LQE2000-26 有機溶液を用いた透明材料のレーザーアブレーション
- 有機・高分子のレーザーアブレーションの新展開
- 有機分子をドープしたPMMAのレーザーアブレーションの効率
- 光反応性分子の極低温場レーザアブレーション
- 高分子材料表面の微細構造形成
- 高分子材料表面でのエキシマレーザーによる3次元微細構造形成
- マススペクトロメトリーによるポリエーテルスルフォンのレーザーアブレーションの研究
- エキシマレーザー照射によるポリウレタンの表面改質
- ArFエキシマレーザ照射によるフェニルヒドラジン雰囲気でのフッ素樹脂の表面改質
- エキシマレーザー反応によるフッ素樹脂表面の接着性の向上
- 紫外レ-ザ-を用いたポリマ-膜の表面改質
- アジド化合物のアブレーションによるポリマー膜の表面修飾
- エキシマレ-ザ-プロセシングによる高分子材料の表面改質
- 高分子膜のエキシマレ-ザ-光化学プロセッシング
- UVレーザによるフッ素樹脂表面の金属薄膜微細加工
- レーザ誘起背面湿式加工法による高アスペクト比加工とその応用 (特集 最新のレーザ利用研究)
- 紫外DPSSレーザーによる金属表面のカラーマーキング
- 紫外レーザーを用いた難加工性材料の表面微細加工
- 低温マトリックス中での芳香族酸無水物のレーザー光分解反応とダイナミクス解析
- レーザー誘起背面湿式加工法による表面マイクロ・ナノ微細加工
- 色素溶液のレーザー・アブレーションを活用した石英ガラスの表面微細加工
- レーザー誘起背面湿式加工法による石英ガラスの表面微細加工
- 鉄シリサイドのレーザーアブレーション : アブレーションプルームの飛行時間質量分析および時間空間分解発光分析
- レーザアブレーションによる透明材料の微細加工 (特集 レーザアブレーション)
- OPE2000-32 / LQE2000-26 有機溶液を用いた透明材料のレーザーアブレーション
- 極低温場を用いた光反応性分子のレーザーアブレーション
- 第3回光化学協会講演会「光化学と材料研究の接点」
- 高密度パルス光による先端的物質プロセシング
- 広がるポリイン化合物
- フッ素樹脂の高性能化・機能付与のためのフォトン・プロセッシング
- 分子を切るレ-ザプロセッシング
- エキシマレ-ザ-による高分子材料の精密加工と表面改質--ポリマ-アブレ-ション
- 高分子材料のレ-ザ-化学加工法--フッ素樹脂に金属めっき
- エキシマレ-ザ-による高分子材料プロセシング (化学工学と光利用技術)
- 高分子膜のエキシマレーザー光化学プロセッシング
- VII-5 レーザー誘起背面湿式加工法による透明材料の加工(シンポジウムVII:レーザーアブレーションプラズマのつくる高温高圧反応場とそれによる新材料創製・加工)
- レーザー誘起背面湿式加工法による石英ガラスの微細加工