干渉露光法を用いた0.28μm周期グレーティングの精密周期制御(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
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概要
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我々はチップ間波長多重光配線のための空間光-導波光波長アドドロップ素子を検討している。その基本素子として、TE_0導波モードとTE_1導波モードを波長選択的に逆方向結合する異導波モード間結合分布ブラッグ反射器(DGM-DBR)を集積化する。850nm波長帯を検討しており、DGM-DBRのグレーティング周期は0.28μm付近で0.67nmずつ周期が異なるように作製する必要がある.今回、グレーティング作製システムとしてマスクアライナー一体型干渉露光光学系を構築し、0.28μm周期で、0.1nmずつ周期の異なるグレーティングの作製したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-11
著者
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