半導体デバイスの信頼性研究の展開
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概要
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半導体デバイスの国内生産額は順調に伸びているが, 国際的な競争力を維持するには, 品質・信頼性の確保・維持は必須要件であり, 急速な技術革新が進行する半導体技術に対応した信頼性研究・技術開発が必要である. 本稿では, 信頼性を取り巻く環境, 歴史的推移, 今後の展開について概観した. 急速な微細化, 高速化, 高集積化が進む半導体集積回路に対する信頼性研究, 信頼性技術開発においては, 新しい発想に基づく研究開発の必要性とその事例を示し, 開発段階における設計, 製造等の各部門との協調に基づく信頼性設計, 信頼性作り込みの重要性を指摘した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-10-18
著者
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