イオンビームアシスト蒸着法による有機薄膜を用いた電気・電子素子への応用
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概要
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低エネギーイオン源を利用したイオンビームアシスト蒸着法による有機薄膜の創成と、その機能素子への応用を目的としている。本研究では主に機能応用として導電性有機蒸着薄膜を電解質とするチップ型の有機固体アルミニウム電解コンデンサ、および多層蒸着膜を発光層とするキャリア注入型の有機発光素子を取り上げ、電気的・光学的特性について検討を行った。さらにまた現在、高分子アクチュエータについても研究を進めているので、これらについても併せて報告を行う。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-25
著者
-
京兼 純
奈良工業高等専門学校電気工学科
-
京兼 純
明石工業高等専門学校
-
吉野 勝美
大阪大学 大学院 工学研究科
-
上田 敦
ニッタ(株)センサー研究開発部
-
谷口 功
奈良工業高等専門学校
-
吉水 道郎
奈良工業高等専門学校
-
上田 敦
ニッタ(株) センサー研究開発部
-
Kyokane J
Nara National Coll. Technol.
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