逐次蒸着法によるLa_xC_<60>薄膜の作製と評価
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概要
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C_<60>薄膜に3価の金属としてLaをドープした場合の物性の変化を調べた。薄膜作製は多元蒸着装置を用い、逐次蒸着方により行っている。作製した薄膜についてX線回折、AFMによる構造評価を行った。これによりFCC構造のC_<60>が生成していることがわかった。電気伝導度の測定を行った結果、Laをドープすることにより絶縁体から半導体ヘ急激に変化することがわかった。また伝導度の温度依存性は半導体的であり、活性化エネルギーは約0.33eVである。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-07-05
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