静電ウォブルモータ
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概要
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円筒基板上に薄膜を形成する円筒積層プロセスを開発し、この加工方法を用いて出力軸径1mm、外形1.4mmの静電ウォブルモータを試作した。円筒積層プロセスは、円筒基板上に犠牲層を含む種々の薄膜を同心円上に形成し、ロータからステータまでを一括して作り上げ、最終工程で犠牲層を除去する加工方法であり、ロータとステータを組み立てることなくモータを作製できる。試作したモータは良好に回転し、開発した加工方法の有用性を実証した。この加工法は、マイクロマシンの製作技術として、幅広い展開が期待できる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-06-16
著者
-
青木 新一郎
松下技研(株)
-
小野 敦
松下技研株式会社
-
小倉 洋
松下技研株式会社
-
青木 新一郎
松下技研株式会社
-
中村 邦彦
松下技研株式会社
-
小倉 洋
松下技研(株)
-
中村 邦彦
松下技研(株)
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