静電ウォブルモータ(<特集>ブレークスルーをねらう最新の回転技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1995-09-05
著者
関連論文
- バイブロスキャニング法を用いた微細形状測定システムの開発
- 圧電センサを用いた共振型バイブロスキャン法の開発
- 微小部品の表面仕上げ法に関する研究
- KrFエキシマレーザ露光装置用TTLアライメント系の開発
- 薄膜加工による3次元構造体の作製-最近のマイクロマシニング技術III-
- 30p-ZH-13 CsI薄膜シンチレータの光学特性
- 静電ウォブルモータ
- 静電ウォブルモータ(ブレークスルーをねらう最新の回転技術)
- 多数分散型マイクロマシンシステムの基本モデルを開発