光音響顕微鏡による透明接着剤の厚み測定
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概要
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私たちはこれまで、光音響顕徴鏡を使って基板上に塗布した透明接着剤の熱拡散率の推定法を提案した。1) 今回、透明接着剤の厚みを簡単に推定する方法を検討したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
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