多層超薄膜ストリップ装荷形3次元光導波特性路ベントの導波
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概要
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これまでに多層超薄膜3次元光導波路の分散特性をTE/TMモード変換を考慮した解析を行い,外部の層数を制御することでT E-likeモードのみが導波するモードフィルタの性能を備えていることを報告した.ここでは実際に多層薄膜を電子ビーム蒸着で作製し,更に電子ビーム描画装置(エリオニクス社製)でストリップ装荷形3次元導波路ベンドを作製し,その導波特性を測定したので報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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