C-3-101 集光型マイクロミラーの開発

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-03-03

著者

• 古宇田 光

  日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所

• 高橋 久弥

  日本電気株式会社

• 高橋 久弥

  日本電気株式会社ナノエレクトロニクス研究所

• 小田 三紀雄

  日本電気株式会社

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