2-1 MEMSが開く新しい高周波技術(2. RF MEMS)(<特集>日本のモノづくりを支えるJisso技術)
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概要
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マイクロマシニング技術は,それを高周波帯へ応用することにより,広帯域化,低損失化,高機能化などの実現,更に実装への応用などが期待されている.このRF MEMS技術は,本格的に研究・開発が始まってからまだ10年弱であり,完全な実用化には今少し時間が必要であるが,しかし現在着実な技術の進歩が見られる.開発事例を基に今後の可能性などを展望する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-11-01
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