基板抵抗網モデルの抽出

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概要

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レイアウトデータを参照して抽出用データを生成し、抽出用ルールに必要な事項を書き加えることにより、レイアウトCADに備わる素子抽出機能を利用してサブストレートモデルを抽出し回路シミュレータでの解析を可能とした。本論文ではこの抽出ツールを利用して、様々な構造のプロセスにおけるアイソレーションの効果の評価結果について述べる。さらにテストチップの測定結果とシミュレーション結果の比較検討結果についても述べる。
社団法人電子情報通信学会の論文
1998-10-22

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