フーリエ変換ラマン分光器を用いたルミネッセンス光測定によるCZ-Si単結晶の評価
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概要
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本研究では近年開発されたフーリエ変換ラマン分光器(FT-Raman)をシリコン単結晶の評価に応用した。FT-Ramanでは励起光としてNd:YAGレーザの1.065μmの発振線を用いているのでラマン光とともにルミネッセンス光が観測される。本研究ではこのルミネッセンス光の注目してシリコン微小欠陥の評価を行った。シリコン結晶を500℃付近で熱処理するとサーマルドナーが形成され、800℃以上で熱処理すると酸素析出物が形成される。それぞれの欠陥は室温で0.7eV付近にピークをもつ発光中心となる。FT-Raman分光器は高速高感度の測定を行うことができるので、非常に短時間の熱処理後にシリコン結晶中に形成された酸素析出物やサーマルドナーをそのルミネッセンス光によって評価できることを示した。また低速成長結晶のリング状酸化誘起積層欠陥(R-OSF)領域とその内側から、従来報告のないサーマルドナーの発生を確認しR-OSF発生を説明するモデルを提案した。
- 1993-05-21
著者
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