LSI断面構造の高速表示法 : ピクセルモデル
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概要
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LSI断面構造の高速表示が可能なピクセルモデルを開発した。本モデルでは、物質をピクセル値(色)で定義し、同一物質領域を同一色のピクセルの集合として表現している。物質の境界は色の境界に対応する。加工による表面形状の変化は、最表面の色境界に位置するピクセルを中心に、楕円、矩形、線分、点等の基本図形を描画することによって生成する。LSIの断面構造は加工工程に基づいて下層から順に生成する。デポジション, エッチングの加工特性は、従来の形状シミュレーションで実績のあるUnified Modelにより算出する。本モデルにより求めた3層配線LSIの断面形状は、SEMによる断面観察結果とよい一致が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-16
著者
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