ピクセルモデルを用いたLSI断面構造表示プログラムTIGERの高機能化
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概要
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ピクセルモデルを用いたLSI断面構造表示プログラムTIGERを高機能化し、さらに忠実な断面形状の生成を可能にした。本報告では、まず、ホールへのスパッタデポジションを擬似3次元的に扱うモデルについて述べる。次に、パタンを斜めに切断した場合の断面構造表示画面、および、切断面を斜めから観察した場合の表示画面を、画面を伸長/圧縮する画像処理を用いて生成する手法を紹介する。さらに、加工粒子の入射中心軸に対してウェハが傾斜した場合の断面加工形状を、ビット落ちの起こらない画像変換手法を用いて生成した傾斜画面に対して、画像変換による画面の縦/横比の変調を考慮したピクセルモデルを適用することによって、擬似的に生成する手法について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-13
著者
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