ジャイロと加速度検出機能を1チップ化した水晶・運動センサの有限要素解析

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概要

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本文は,生体の運動量などを計測する上で,人体への負担が少なく低周波域からの計測も可能な小型で多機能な運動センサの開発を目的とする.すなわち,水晶振動子を用いて角速度と加速度検出機能を1チップ化した運動センサの基本的特性について,有限要素解析を行った.本センサは,水平横置き三脚共振子を用いたジャイロセンサと2方向の加速度が検出可能な周波数変化型の加速度センサにより構成される.有限要素解析の結果,ジャイロセンサ部においては,検出電位は良好な線形性を示した.しかしながら,他軸感度問題があることが判った.また,加速度センサ部においては検出方法により2軸の加速度検出が可能であるこっとが確かめられた.結論として,表記の運動センサは可能であると判定される.
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-04-10

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