AFMを用いた磁性微細構造の作製
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概要
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原子スケールの分解能を有する原子間力顕微鏡(AFM)などの走査型プローブ顕微鏡(SPM)はナノ構造を作製する加工ツールとしても興味が持たれる.本講演では強磁性金属薄膜の局所酸化に関する研究結果を報告する.AFM探針に逆バイアスを印加すると大気中の水分を介した陽極酸化が生じるため, 電気化学反応によって酸化物の微細な構造を作製することが可能である.NiFe薄膜などにこの局所酸化法を適応した実験結果を詳細に述べるとともに, プレーナ型強磁性トンネル接合の試作, クーロンブロッケイドによるトンネル磁気抵抗効果増大を利用したメモリ構造の提案などを報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-08-31
著者
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