前処理を施した光学ガラス基板を用いた拡散型チャネル光導波路の作製
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概要
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2段階拡散法によりガラス製チャネル光導波路を作製する際に, 使用する基板ガラスの組成や特性によっては埋込み型チャネル光導波路を作製することが困難な場合がある.このような場合でも, あらかじめガラス基板表面にナトリウムイオンを拡散させ, 組成の異なる領域を形成(前処理)しておけば, チャネル光導波路が作製できることを示している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-01-25
著者
-
小野 和雄
愛媛大工
-
堀田 昌志
山口大学大学院
-
堀田 昌志
山口大学工学部電気電子工学科
-
小野 和雄
愛媛大学工学部
-
三宅 芳昭
Jフォン中国株式会社
-
鶴成 哲也
松下電子部品株式会社
-
小野 和雄
愛媛大学
-
Hotta Masashi
Faculty of Engineering, Ehime University
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