電子線トモグラフィーを用いたヘッド磁場評価
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概要
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磁気記録ヘッドの磁界分布を測定することを目的に、透過電子線顕微鏡をベースにした電子線トモグラフィー装置を開発した。本装置は、格子状に配列した電子線スポットを磁気記録ヘッド表面に沿って投射し,ヘッド磁界によるスポットの偏向量を測定して、ヘッド磁界を得るものである。ヘッド表面から30nmの磁界分布の測定結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-09-26
著者
-
中村 公夫
株式会社日立製作所中央研究所
-
鈴木 寛
日立製作所 ストレージテクノロジ研究センタ
-
中村 公夫
日立製作所中央研究所
-
島倉 智一
日立製作所中央研究所
-
伊藤 健一
日立製作所中央研究所
-
中村 公夫
日立 中研
-
中村 公夫
(株)日立製作所 中央研究所
-
島倉 智一
日立製作所 ストレージテクノロジ研究センタ
-
中村 公夫
日立製作所 ストレージテクノロジ研究センタ
-
伊藤 健一
株式会社日立製作所中央研究所
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