プログラマブル・ジョセフソン電圧標準用NbN/TiN/NbN接合アレーの作製と評価(デバイス・一般)
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概要
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次世代の電圧標準システムとして、NbN/TiN/NbN接合アレーを持ち小型冷凍機で動作するプログラマブル・ジョセフソン電圧標準システムの開発を行っている。これまでに1Vの出力電庄をもつチップの正常な動作を確認しており、現在、5Vから10Vの出力電圧を持つチップの開発を行っている。ここではNbN/TiN/NbN/TiN/NbN二重積層接合アレーを用いたチップの作製と特性について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-01-16
著者
-
東海林 彰
産業技術総合研究所
-
山森 弘毅
(独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
石崎 真弓
産業技術総合研究所
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山森 弘毅
産業技術総合研究所
-
山森 弘毅
産業技術総合研 エレクトロニクス研究部門
-
山森 弘毅
産業技術総合研
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