(NbN/TiN_x)_n/NbN多重積層接合の作製とマイクロ波照射特性

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概要

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• 2002-09-10

著者

• 東海林 彰

  産業技術総合研究所

• 東海林 彰

  産総研

• 山森 弘毅

  (独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門

• 石崎 真弓

  産業技術総合研究所

• 石崎 真弓

  産総研

• 山森 弘毅

  産総研

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