ポリ塩化ビニルをマトリックスとする硝酸イオン選択性電界効果トランジスタの長寿命化
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概要
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ポリ塩化ビニル(PVC)をマトリックスとする硝酸イオン選択性電界効果トランジスタ(ISFET)の長寿命化の研究を行った.従来からよく用いられるトリオクチルメチルアンモニウム硝酸塩を用いた硝酸PVC/ISFETでは,イオン感応膜の接着性が弱く,安定した電位応答が得られなかった.そこで,保留性に優れ,高い脂溶性をもつトリドデシルメチルアンモニウム硝酸塩,及びトリテトラデシルメチルアンモニウム硝酸塩を用いた硝酸PVC/ISFETを作製したところ,それぞれ10^<-4.5>〜10^0 Mの直線応答範囲で55mv,10^<-5>〜10^0 Mで56mVの感度を示し,それらのISFETの寿命は,それぞれ3週間程度と7週間程度であり,寿命の大幅な向上が得られた.
- 1989-10-05
著者
-
川原 昭宣
工業技術院大阪工業技術試験所
-
脇田 慎一
工業技術院大阪工業技術試験所
-
山根 昌隆
工業技術院大阪工業技術試験所
-
東 国茂
工業技術院大阪工業技術試験所
-
高須賀 さほり
工業技術院大阪工業技術試験所
-
脇田 慎一
産業技術総合研究所関西センター
-
脇田 慎一
産業技術総合研
-
脇田 慎一
工業技術院大阪工業技術研究所エネルギー・環境材料部
-
東 国茂
工業技術院大阪工業技術研究所エネルギー・環境材料部
-
脇田 慎一
産業技術総合研究所ヒューマンストレスシグナル研究センター
-
川原 昭宣
Govenment Industrial Research Institute Osaka
-
山根 昌隆
工業技術院大阪工業技術研究所エネルギー・環境材料部
-
山根 昌隆
工業技術院大阪工業技術研究所
-
脇田 慎一
独立行政法人産業技術総合研究所 健康工学研究部門 ストレス計測評価研究グループ
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