ヒ化ガリウム中の不純物の分離
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概要
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大規模集積回路(LSI)基板材料として注目されているヒ化ガリウム中の不純物の分離法を検討した.アルミニウム,ホウ素,クロム,マンガン,セレン,亜鉛については陰イオン交換において,6M塩酸,1M塩酸,2M硝酸で流出させる方法により,銅については更にエーテル抽出を組み合わせた方法により,ヒ素,ガリウムからの分離が可能なことを明らかにした.クロム,銅,マンガン,亜鉛について,実際の分析での不純物濃度を想定した分離を行い,上記分離法により,定量的なこれら元素の回収率とヒ化ガリウムの除去率を得た.アルミニウム,ホウ素,セレンについては,上記方法を実際の分析に適用するためには,汚染の低減化及び回収率の向上が必要なことが明らかになった.
- 1986-11-05
著者
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