3-5族化合物半導体の2次イオン質量分析

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電気通信協会の論文

著者

• 本間 芳和

  日本電信電話(株)基礎技術総合研究所

• 黒沢 賢

  Ntt 電子応用研

関連論文

• 半導体
• 3-5族化合物半導体の2次イオン質量分析
• ヒ化ガリウム中の不純物の分離

スポンサーリンク