磁気バブル用希土類ガーネットエピタキシャル薄膜中の組成分析
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概要
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磁気バブル薄膜の湿式分析法として,希土類分析に有効なマイクロ波プラズマ発光分光法を検討し,それに必要な試料処理法を検討し,併せてX線マイクロアナライザー(EPMA)による補正定量法を検討した.結果は以下のとおりである.(1)試料処理法として,化学エッチング,スパッタリングによって,薄膜を基板から分離し,分析する方法を考え,1 1/4inchウエハ,5μm膜厚の薄膜の分析を可能にした.マイクロ波プラズマ発光分光法の再現性の相対誤差は5%であった.(2)一方,EPMA分析においては,特に標準試料の検討を行い,ガドリニウム・ガリウム・ガーネット(GGG)が最適との結論を得た.(3)マイクロ波プラズマ発光分光とEPMA分析値の最大誤差は,3wt%であり,その範囲でEPMA分析値の信頼性を得た.(4)EPMAでは,再現性の相対誤差3%が得られ,これによって磁気特性の変動をチェックすることが可能となった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1977-12-05