TbFeCo系超磁歪薄膜を用いたカセンサの検討(計測・高周波デバイス)
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概要
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Giant magnetostrictive material (GMM) has large magnetostriction, and has been successfully used in many actuators and sensors. Currently, practical microactuators and micro- sensors are widely anticipated in the industry. In this study, the effect of adding Co to Tb-Fe GMM thin film and the influence of heat-treatment were examined. GMM thin film was used in a force sensor. GMM thin film with a Co ratio of 25.5 at% and annealing temperature of 300℃ has 1200 ppm magnetostriction at 80 kA/m. The characteristics of a force sensor using a GMM thin film with a relative permeability of 210 are also examined.
- 2005-04-01
著者
-
藤重 雅嗣
信州大学工学部
-
清宮 照夫
FDK(株))
-
脇若 弘之
信州大学工学部電気電子工学科
-
松尾 良夫
FDK株式会社
-
青柳 典明
多摩川精機株式会社
-
鳥居 陽平
信州大学
-
脇若 弘之
信州大学工学部
-
清宮 照夫
FDK株式会社
-
山田 洋次
FDK(株)技術開発本部
-
鳥居 陽平
信州大学工学部電気電子工学科
-
青柳 典明
信州大学工学部
-
山田 洋次
FDK株式会社
-
牧村 美加
長野工業試験場
-
青柳 典明
多摩川精機
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